半導(dǎo)體吸收27%工業(yè)用水，高頻科技先進(jìn)超純工藝助力企業(yè)降本增效

近年來(lái),“降本增效”成為半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵詞之一。半導(dǎo)體是技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),工藝制程高度復(fù)雜精確,且能源消耗高,生產(chǎn)一顆芯片大約需要3000多道復(fù)雜的工序,每一道工序都需要大量能源,工廠全天24小時(shí)、全年365天運(yùn)轉(zhuǎn),整體能耗龐大,產(chǎn)業(yè)運(yùn)維成本高昂。隨著半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)始進(jìn)入“后摩爾定律時(shí)代”,資源利用率已經(jīng)成為制約半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心競(jìng)爭(zhēng)力之一。

半導(dǎo)體吸收27%工業(yè)用水,水效率亟待提升

我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)近年來(lái)發(fā)展迅速,但資源利用率仍不高。半導(dǎo)體的制造過(guò)程中需要消耗掉大量的水源,尤其是半導(dǎo)體制程需要使用超純水,而制作超純水的過(guò)程需使用幾倍的自來(lái)水,用水量相當(dāng)驚人,與美國(guó)相比,用水量是美國(guó)的三倍。事實(shí)上,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)吸收了27%的工業(yè)用水。

我國(guó)擁有世界 20% 的人口,但僅擁有全球 7% 的水資源,是一個(gè)人均水資源相對(duì)貧乏的國(guó)家,工廠的節(jié)水效能和用水效率亟待提升,綠色水工廠的打造也刻不容緩。

半導(dǎo)體制程越先進(jìn),能源消耗越高

半導(dǎo)體制程越先進(jìn),對(duì)超純水的消耗也就越大。在90nm工藝節(jié)點(diǎn)制程下,只需要90次左右的清洗步驟就可以達(dá)到較好的良率。但是在下一代65nm工藝節(jié)點(diǎn)時(shí),清洗步驟增加到140步左右。到22nm/20n節(jié)點(diǎn),清洗步驟增加到210次左右。進(jìn)入到5nm先進(jìn)制程,清洗的次數(shù)要求則更高。

事實(shí)上,眾多頭部半導(dǎo)體企業(yè)已經(jīng)意識(shí)到提升資源利用率的重要性。在臺(tái)積電最新公布的“臺(tái)積公司110年永續(xù)報(bào)告書(shū)”中提到,2021年臺(tái)積電持續(xù)推動(dòng)“提升系統(tǒng)產(chǎn)水率、廠務(wù)系統(tǒng)排水減量、增加廠務(wù)廢水回收、降低系統(tǒng)排水損失”四大節(jié)水措施,積極尋求節(jié)水機(jī)會(huì)點(diǎn),以達(dá)最大節(jié)流效益,在2021年節(jié)水248萬(wàn)噸。

高頻科技領(lǐng)先超純工藝助半導(dǎo)體企業(yè)降本增效

目前,高頻科技目前已經(jīng)完全掌握了先進(jìn)半導(dǎo)體制程需要使用的超純水生產(chǎn)的全部核心工藝,特別是在PPB級(jí)別的TOC,溶解氧去除,以及PPT級(jí)別的硼、硅等特殊物質(zhì)的去除方面有自己的成熟經(jīng)驗(yàn),通過(guò)技術(shù)把控和工程實(shí)踐,從工藝層面幫助半導(dǎo)體企業(yè)提升超純水使用效率。

作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上極為重要的一環(huán),高頻科技也積極探索,基于多年的半導(dǎo)體水系統(tǒng)經(jīng)驗(yàn)積累,植入綠色工廠理念,為客戶提供領(lǐng)先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備,助力半導(dǎo)體企業(yè)提升水資源利用率。

基于提質(zhì)增效和環(huán)境責(zé)任的內(nèi)外部雙重驅(qū)動(dòng),越來(lái)越多的半導(dǎo)體客戶也逐漸重視超純水及循環(huán)再生系統(tǒng)的運(yùn)行成本和智能運(yùn)維水平的提升。因此,高頻科技未來(lái)還將在結(jié)合人工智能、大數(shù)據(jù)和云計(jì)算基礎(chǔ)上的智慧廠務(wù)工廠建設(shè)中提供整體解決方案,也將在工廠運(yùn)維方面提供除傳統(tǒng)方式外的更多選項(xiàng),助力半導(dǎo)體企業(yè)取得更大的行業(yè)領(lǐng)先。

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